掃描電子顯微鏡用光學顯微鏡相比使用的不是光。

簡單來說，掃描電子顯微鏡，用光學顯微鏡相比,顯微鏡，使用電子而不是光，它的鏡頭，而不是玻璃磁。如前所述，在S.E.M.用于圖像objects.This的表面特征是通過一個精巧的電子聚焦光束掃描整個表面在高真空的標本完成。由于電子束撞擊物體表面時，它會導致其他電子被敲到的地方，他們被吸引到一個傳感器的真空,工具顯微鏡。

電子檢測，轉換成數據信號，處理，然后作為一個高清晰度電視顯示器的圖片重新組合。此時，可查看或圖像，照片，圖形化recorded.In掃描電鏡，只有一個主體的表面上的斑點，需要集中在任何一個時間。因此，

在S.E.M.從理論上講，是能夠改變的著力點，不斷遵循的是什么稱為“動態聚焦”，從而表面的輪廓，產生的整體形象，完全集中點對點1S。作為一個補充的可能性以來被發現后，由電子信號進行圖像信息，數據可能會被處理,熒光顯微鏡，增強，或存儲在計算機中，如果有必要的。