光切法顯微鏡可用測微目鏡測出表面不平度平均高度值Rz。按國家標準，表面光潔度級別與不平度平均高度值Rz的關系，如圖所示：
精度等級 不平度平均高度值Rz（微米） 3 40~80 4 20~40 5 10~20 6 6.3~10 7 3.2~6.3 8 1.6`3.2 9 0.8~1.6
精度等級
不平度平均高度值Rz（微米）
3
40~80
4
20~40
5
10~20
6
6.3~10
7
3.2~6.3
8
1.6`3.2
9
0.8~1.6
顯微鏡在測量時，所測量的表面范圍不少于五個波峰。
為使測量能正確而迅速地進行，要求按圖所列數據選擇物鏡。
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